无油隔膜真空泵的性能参数：

1、隔膜泵的极限压强：泵的极限压强单位是pa，是指泵在入口处装有标准试验罩并按规定条件工作，在不引入气体正常工作的情况下，趋向稳定的Zui低压强。

2、隔膜泵的抽气速率：泵的抽气速率单位是m3/s或l/s，是指泵装有标准试验罩，并按规定条件工作时，从试验罩流过的气体流量与在试验罩指定位置测得的平衡压强之比。简称泵的抽速。

3、隔膜泵的抽气量隔膜泵的抽气量单位是pa m3/s或pa l/s。是指泵入口的气体流量。

4、隔膜泵的起动压强：隔膜泵的起动压强单位为pa，它是指泵无损坏起动并有抽气作用时的压强。

5、泵的前级压强：隔膜泵的前级压强单位是pa，它是指排气压强低于一个大气压的出口压强。

6、隔膜泵的Zui大前级压强：隔膜泵口Zui大前级压强单位是pa，它是指超过了能使泵损坏的前级压强。

7、隔膜泵的Zui大工作压强：隔膜泵的Zui大工作压强单位是pa，它是指对应Zui大抽气量的入口压强。在此压强下，泵能连续工作而不恶化或损坏。

8、压缩比：是指泵对给定气体的出口压强与入口压强之比。

9、何氏系数泵抽气通道面积上的实际抽速与该处按分子泻流计算的理论抽速之比。

10、抽速系数：泵的实际抽速与泵入口处按分子泻流计算的理论抽速之比。

11、返流率：泵的返流率单位是g/cm2.s。它是指泵按规定条件工作时，通过泵入口单位面积的泵流质量流率。

12、水蒸气允许量：水蒸气的允许量单位是kg/h，它是指泵在正常环境条件下，气镇泵在连续工作时能抽除的水蒸气质量流量。

13、Zui大允许水蒸气入口压强：Zui大允许水蒸气入口压强单位是pa。它是指在正常环境条件下，气镇泵在连续工作时所能抽除的水蒸气的Zui高入口压强。